硅振蕩器（MEMS）采用集成電路工藝制造出機(jī)械振動器件，可以被集成在硅芯片中從而大幅度降低成本，對傳統(tǒng)晶體振蕩器行業(yè)構(gòu)成了一定沖擊。作為晶振晶體行業(yè)領(lǐng)頭羊，愛普生公司并并不畏懼價格戰(zhàn)。傳統(tǒng)的石英晶體需要切割和傾斜(beveling)加工，但體積可以做的更小，溫度漂移的適應(yīng)性好，采用印刷技術(shù)的成本和功耗可以更低。針對硅振蕩器的固有曲線，愛普生選擇在兩個方面迎接挑戰(zhàn)：1、提高和拉開傳統(tǒng)的石英晶振相對硅振在溫度特性等方面的品質(zhì)優(yōu)勢；2、通過技術(shù)創(chuàng)新，大幅度降低產(chǎn)品價格。而這兩個方向的努力都終落實在EPSON獨特的QMEMS技術(shù)上。
 

已經(jīng)占據(jù)23%晶振市場份額日本愛普生晶振（Epson Toyocom）公司采用類似半導(dǎo)體光刻工藝制造一種石英MEMS(QMEMS)，并保持在硅MEMS振蕩器市場的前列地位。

QMEMS的規(guī)格說明書顯示出與競爭的MEMS振蕩器（SiTime、Discera、Silicon Clock和Mobius微系統(tǒng)等公司的產(chǎn)品）相比性能差不多或更好。

“傳統(tǒng)來說MEMS需要硅工藝，所以他們叫我們的產(chǎn)品QMEMS，因為我們采用石英，而不是硅，”愛普生晶振的Debbie Word表示，“我們用石英晶圓在類似半導(dǎo)體廠的工廠里面生產(chǎn)，采用光照、蝕刻、鍍膜和犧牲層去除的方法 - 與硅MEMS芯片的工藝差不多，但我們使用的是石英材料。”

壓電石英晶體已經(jīng)成為標(biāo)準(zhǔn)，一旦在其中通過一個小電流，就可以產(chǎn)生設(shè)定頻率的振蕩。該振蕩頻率不受封裝內(nèi)的溫度改變的影響。石英是地球上資源豐富的壓電材料，通過精密的切割和傾斜，可以讓石英振蕩器得到需要的頻率。

幾年前，愛普生采用光刻工藝生產(chǎn)了厚度在2毫米下的音叉共鳴器，這個是傳統(tǒng)的切割和傾斜工藝不能達(dá)到的。這個工藝用在了QMEMS振蕩器上，從而在規(guī)格上可以與硅MEMS振蕩器競爭。

市場分析報告顯示對于OEM來說不會有什么改變。“MEMS是可行的另一種非傳統(tǒng)的方案，因為可以在更低的價格提供增加的功能，”MEMS分析師Roger Grace表示，“工程師在尋找優(yōu)秀的可能的方案，如果QMEMS定時器芯片可以在*低的價格提供他們需要的功能，那該產(chǎn)品就會取得成功，不論采用何種生產(chǎn)工藝。”

愛普生晶振還計劃采用QMEMS的工藝生產(chǎn)大氣壓力傳感器，并且已經(jīng)采用該工藝生產(chǎn)了超?。?* 2mm）陀螺儀，用于數(shù)碼相機(jī)的圖像穩(wěn)定防抖。